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別神化ASML的EUV光刻機(jī),沒它,一樣量產(chǎn)7nm芯片

2022-07-27 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: ASML 光刻機(jī) 芯片

EUV光刻機(jī)是當(dāng)下最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)制造設(shè)備,主要用于生產(chǎn)制造7nm及以下制程的芯片,可以說,EUV光刻機(jī)出現(xiàn)后,其就供不應(yīng)求。


據(jù)悉,ASML將大量的EUV光刻機(jī)出貨給了臺(tái)積電,剩下的則出貨給了三星和英特爾,由于三星的數(shù)量少于臺(tái)積電,所以在產(chǎn)能和良品率方面相對(duì)落后。


在這樣的情況下,三星李在镕親自前往荷蘭總部,目的是想獲得更多EUV光刻機(jī),并想優(yōu)先獲得下一代EUV光刻機(jī)等更先進(jìn)的設(shè)備。



而國(guó)內(nèi)廠商早就全款訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī),但由于各種原因,至今都沒有到貨,ASML也明確表示在沒有許可的情況下,EUV光刻機(jī)是無法自由出貨。


沒有EUV光刻機(jī),就無法量產(chǎn)7nm等制程的芯片,這實(shí)際上是一個(gè)錯(cuò)誤的觀點(diǎn),而且,還把EUV光刻機(jī)給神化了,實(shí)際上,沒它一樣量產(chǎn)7nm芯片。


首先,第一代7nm芯片就是用DUV光刻機(jī)量產(chǎn)的,臺(tái)積電就是這么干的,采用的是多層曝光工藝,只不過,相比EUV光刻機(jī)有點(diǎn)費(fèi)事。



目前,廠商已經(jīng)用多層曝光工藝量產(chǎn)了14nm芯片,良品率等敢于同國(guó)際大廠相比較,這說明國(guó)內(nèi)廠商掌握的多層曝光工藝已經(jīng)十分純熟了。


在這樣的情況下,用DUV光刻機(jī)量產(chǎn)7nm芯片有戲,畢竟,都是采用多層曝光工藝。


更何況,廠商都已經(jīng)小范圍內(nèi)試產(chǎn)了N+1工藝的芯片,這種芯片在邏輯面積上與臺(tái)積電的7nm芯片十分相似,只不過主打低功耗。


臺(tái)積電還明確表示用DUV光刻機(jī)也能夠量產(chǎn)5nm芯片,只不過工藝更復(fù)雜一些,成本更高一些。



要知道,越是先進(jìn)制程的芯片,其就是邏輯面積變小,更小的面積中內(nèi)置更多晶體管,使用DUV光刻機(jī)雖然有難度,只不過是工藝復(fù)雜、良品率會(huì)一些。


否則,廠商也不會(huì)在僅有DUV光刻機(jī)的情況下,就完成了7nm芯片的研發(fā)任務(wù),還小范圍內(nèi)試產(chǎn)了N+1工藝的芯片。


其次,NIL工藝出現(xiàn)了。


NIL工藝的出現(xiàn),讓EUV光刻機(jī)可以說徹底掉下神壇,因?yàn)樵贜IL工藝之下,根本就不用使用EUV光刻機(jī),依舊可以將芯片制程縮小至5nm。



據(jù)了解,NIL工藝是一種壓印工藝,先刻上納米電路圖案,然后再將電路圖案“壓印”在晶圓上,就像蓋章一樣。

因?yàn)椴恍枰褂妙愃艵UV光刻機(jī)那樣先進(jìn)的鏡頭,所以成本低了很多。


根據(jù)佳能等發(fā)布的消息可知,使用NIL工藝量產(chǎn)的5nm芯片預(yù)計(jì)在2025年實(shí)現(xiàn),相比EUV工藝而言,其成本降低90%,還能夠節(jié)約大量的能源費(fèi)用。


關(guān)鍵是,佳能等廠商有意在全球范圍內(nèi)推廣NIL工藝,讓這種工藝用于生產(chǎn)先進(jìn)的儲(chǔ)存芯片和非儲(chǔ)存芯片。




最后,光電芯片也是好的解決方案


光電芯片完全不同于硅芯片,任正非都明確表示光電芯片技術(shù)可以完全繞開美芯技術(shù),而華為在光電芯片領(lǐng)域內(nèi),已經(jīng)布局十余年時(shí)間。


為了更好發(fā)展光電芯片技術(shù),華為不僅計(jì)劃在劍橋附近建設(shè)華為全球研發(fā)中心,主要研發(fā)光電芯片,還在博士招聘中,多次公開招聘相關(guān)技術(shù)人才。



另外,荷蘭也宣布投資11億歐元到光電芯片領(lǐng)域內(nèi),目的是想在下一代芯片技術(shù)方面保持領(lǐng)先,畢竟,其也想完全實(shí)現(xiàn)自由出貨。


更何況,光電芯片的制造工藝不同于硅芯片,自然也就談不上EUV光刻機(jī)了。所以才說別神化EUV光刻機(jī),沒它一樣量產(chǎn)7nm芯片。對(duì)此,你們?cè)趺纯础?/p>

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