尼康計劃推出支持3D半導體的光刻機，目標2026年銷量翻番

據日經新聞24日報道，尼康計劃在2025財年（截至2026年3月）將把半導體光刻機主力機型的年銷量增至2019-2021財年（截至2022年3月）3年平均銷量的2倍以上。尼康計劃以2023年上市的支持3D半導體的新產品為中心。

眾所周知，光刻機是半導體制造的關鍵設備。但是在半導體光刻機市場，荷蘭ASML一家獨大，占據了大部分的市場。根據統計數據顯示，2020年全球半導體光刻機總銷量約413臺，銷售額約130億美元，其中用于晶圓制造的基本均為ASML、尼康和佳能三家公司的產品。如果以銷量來看，ASML銷量為258臺占比62%（其中EUV光刻機出貨量已經達到 31臺，如果以銷售額來看，ASML的份額高達近90%），佳能銷量為122臺占比30%，尼康銷量為33臺占比8%。可以說，尼康已經是越來越邊緣化了。

為了提升市場份額，尼康計劃在2023年推出光源使用化合物“氟化氬（ArF）”、并支持3DIC的“ArF浸潤式光刻機”的新產品，可以適應3D堆疊結構器件如3D NAND芯片、圖像傳感器制造需求。并希望將到2025年將ArF光刻機銷量達到目前的兩倍。目前，該公司平均每年售出16臺ArF光刻機（含二手翻新）。