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機構:電子特氣NF3、WF6緊缺將持續至2026年

2022-09-06 來源:網絡整理
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關鍵詞: 半導體材料


半導體材料市場研究機構TECHCET日前表示,半導體制程工藝所需的特種氣體三氟化氮 (NF3) 和六氟化鎢 (WF6) 供應持續緊張,這樣的狀態可能將延續至2025-2026年。


TECHCET認為,NF3供應緊缺程度尤高,包括顯示面板在內的泛半導體制造對NF3需求不斷增加,預計未來五年市場規模將增加72%。不過由于其屬于較強效的溫室氣體,業界也正在研究其替代方案用于反應腔清洗。


WF6目前廣泛應用于 3D NAND 生產,不過存儲器廠商已經在研究新型材料替代方案,2025年可能成為大規模換代的轉折點,不過目前尚難確切預估其節奏。



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