路維光電已實現250nm制程節點半導體掩膜版量產

9月28日消息，深圳市路維光電股份有限公司披露調研紀要顯示，目前公司已實現250nm制程節點半導體掩膜版的量產。近年，公司主要客戶有京東方、華星光電、天馬、信利等，半導體掩膜版主要客戶有士蘭微、晶方科技、華天科技、通富微電、三安光電、光迅科技等。公司G11掩膜版產品相關技術指標已達國際先進水平，CD精度可控制在±0.1μm以內，總長及位置精度可控制在±0.5μm以內。

公開資料顯示，深圳市路維光電股份有限公司成立于2012年, 路維光電成員，是高科技、高附加值、高技術密集型國家級高新技術企業，總部位于深圳市南山區科技園。公司成立至今一直專注于各類掩膜產品的研發生產，在中國掩膜版行業擁有多年的技術與經驗，是國內唯一一家可覆蓋G2.5-G11全世代產線的本土掩膜版企業。

該公司自成立至今，一直致力于各類掩膜版的研發、生產和銷售，產品主要用于平板顯示、半導體、觸控和電路板等行業，是下游微電子制造過程中轉移圖形的基準和藍本。經過多年技術積累和自主創新，公司具有G2.5-G11全世代掩膜版生產線，可配套平板顯示廠商所有世代產線；實現了250nm制程節點半導體掩膜版量產，并掌握了180nm/150nm節點半導體掩版制造核心技術，滿足先進半導體芯片封裝和器件等應用需求。

數據顯示，深圳市路維光電股份有限公司及其關聯公司累計申請專利超過110件，其中發明專利近40件，占比超過32%。通過進一步分析其專利技術數據可知，該公司在掩膜版、涂膠機、光學膜、光刻膠等領域擁有豐富專利布局。