9月1日起，浸潤式光刻機受限？ASML：今年內中國客戶隨便買

眾所周知，荷蘭之前公布了一個半導體設備的禁令，表示NXT:2000i光刻機，以及更先進的光刻機，是不能賣給中國的，除非拿到許可證。而這個禁令將于9月1日執行。

所以從9月1日起，很多人就表示，接下來國內的晶圓廠可能有點難受了，因為只能買到NXT:1980Di這一款浸潤式光刻機了，比它更先進的都不能買，包括EUV。

不過針對這一情況，ASML直接進行了否認，表示2023年內，所有的DUV光刻機，包括NXT:2000i以及更先進的NXT:2050i、NXT:2100i，都能夠賣給中國。

而為什么ASML能夠無視禁令呢？ASML表示，之前ASML就向荷蘭政府申請了許可證，而這個許可證的有效期是覆蓋2023年內的，但是從2024年1月1日開始，就失效了，到時候ASML就不能將NXT:2000i及更先進的光刻機賣給中國了。

那么這對中國的晶圓廠，有多少影響么？

說真的，其實影響不大，目前ASML在售的四款浸潤式光刻機，分別是NXT:1980Di、NXT:2000i、NXT:2050i、NXT:2100i，數字型號越大機器越先進。

但從參數來看，不管是NXT:2000i，還是NXT:1980Di，或者更高級的NXT:2050i、NXT：2100i，他們的分辨率都是38nm，數據值孔徑都是1.35NA，波長都是193nm，經過水的折射后，等效于134nm。

所以理論上，大家能夠制造的芯片工藝是一致的，只是晶圓處理速度不一樣，這個影響的是產能，但工藝影響不大。

同時浸潤式光刻機，最高是能夠制造7nm工藝的芯片，不管是相對落后一點的NXT:1980Di，還是最先進的NXT:2100i，最高也都只是達到7nm，也都能達到7nm工藝。

所以中國晶圓廠，不管怎么買，都可以最高實現7nm，同時也無法進入5nm的，因為5nm是需要EUV工藝，這是繞不開的。

更重要的是，既然還有這么多時間，ASML說可以銷售，那么國內有需求的廠商也會想辦法囤一些最先進的DUV光刻機，以保證接下來一段時間之內的使用。

所以對于這個禁令，大家真的不必太過于擔心，除非說所有浸潤式都不能銷售，只能賣Dry，也就是干式光刻機，那樣影響就真的大了。