中國最牛后道光刻機廠:拿下國內85%份額,ASML都不是對手
2023-11-20
來源:科技專家
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估計很多人僅看了標題,就不會去看內容,然后就直接開始吐槽,為何我們就不能腳踏實地,這么喜歡吹牛呢?中國的光刻機有這么牛,何至于是現在這樣?那美國怎么會限制光刻機的進口?
但我要說的是,你根本沒看清標題,只是看到光刻機二字,就覺得不可能了。我標題中寫的是后道光刻機。
芯片制造過程,分為前道和后道。
前道是將硅晶圓通過光刻要、刻蝕等工藝,變成加工后的硅晶圓,這個過程是前道工序,這里需要的光刻機叫做前道光刻機。
而前道光刻機,確實種類繁多,有i線、G線、KrF、ArF、ArFi、EUV等,這些種類都與工藝相關,比如ArF可以達到65nm,ArFi可以達到7nm,而EUV用于7nm以下。
這一塊,ASML稱王,一家拿下全球85%左右份額,而國內的水平確實差很多,上海微電子的光刻機,水平僅在90nm,市場也可以忽略。
但我說的是后道光刻機,后道是指將加工好后的硅晶圓,進行一片一片切割成Die,然后再將這些裸芯片,封裝測試,最后形成一顆顆可以用于設備中的芯片過程。
在后道工序中,也需要光刻機,叫做后道光刻機,也可以稱之為封裝光刻機。
而在這一塊,上海微電子就很厲害了,目前在全球市場,上海微電子拿下了37%的份額,而在國內,更是拿下了85%的份額,連ASML在國內都不是上海微電子的對手。
當然,與前道光刻機相比,后道光刻機確實簡單一些,沒那么復雜,但也是芯片制造過程中,不可或缺的一種設備。
所以,對于上海微電子,我們也應該佩服,雖然它在前道光刻機上不給力,但在后道光刻機上還是達到了全球最頂級的水平,也讓我們減少了對國外設備的依賴。
目前上海微電子在前道光刻機上也在努力,說不定哪天突破到浸潤式,也就是ArFi光刻機,那就很厲害了。
