關于摩爾定律的“生死”、半導體技術的未來，這場會議透露不少

在2023年的國際電子器件會議（IEDM）上，英特爾公司展示了一項重要的技術突破，他們計劃通過背面供電技術以及新型2D通道材料的應用，繼續推動摩爾定律的發展。這項技術旨在在2030年前，在單個封裝內集成1萬億個晶體管，為半導體行業帶來了巨大的潛力和機遇。

隨著PowerVia背面供電技術的不斷完善和Intel 20A制程節點的推出，英特爾公司正朝著實現這一宏偉目標邁進。這一技術將徹底改變半導體制造的方式，解決了互連瓶頸等問題，為下一代芯片的制造提供了前所未有的機會。

英特爾的研究和發展不僅包括背面供電技術，還涉及直接背面觸點的3D堆疊CMOS晶體管，以及背面觸點等領域的突破。這些創新將使半導體技術更加高效和先進，為未來的移動計算需求提供了強大支持。

隨著半導體技術不斷發展，半導體芯片的集成度越來越高，衡量芯片微觀集成密度的單位也從納米轉向埃米，這進一步推動了技術的發展。英特爾公司高級副總裁兼組件研究總經理桑杰·納塔拉詹表示，持續創新比以往任何時候都更加重要，他們有能力應對未來的技術挑戰，為市場提供高效的解決方案。

據國際數據公司（IDC）的預測，全球人工智能硬件市場規模將在未來幾年內迅速增長，其中服務器市場將占據相當大的份額。英特爾的技術創新將有望在這一領域發揮關鍵作用，推動人工智能技術的發展。


臺積電透露1.4nm工藝進展

據臺積電透露，其1.4nm級別的工藝制程研發已經全面啟動。

臺積電在會議上重申，其2nm級別的制程將按照預定計劃在2025年開始量產。這一計劃的實施將進一步鞏固臺積電在全球半導體制造領域的領先地位。此外，據消息人士透露，臺積電的1.4nm制程節點的正式名稱為A14。

盡管臺積電目前尚未公布A14的量產時間和具體參數，但根據其已公布的生產計劃，可以推測A14節點預計將在2027年至2028年間問世。這一預測基于臺積電N2節點計劃于2025年底量產，N2P節點則定于2026年底量產的現狀。

在技術層面，臺積電的A14節點可能不會采用垂直堆疊互補場效應晶體管(CFET)技術，但臺積電仍在積極探索這一領域。預計A14將像N2節點一樣，依賴于臺積電第二代或第三代環繞柵極場效應晶體管(GAAFET)技術。

臺積電強調，為了使N2和A14等節點能夠真正發揮作用，實現新的性能、功耗和功能水平，需要進行系統級的協同優化。這一點對于臺積電的研發團隊來說，無疑是一個巨大的挑戰。


半導體未來技術方向

在本屆的IEDM上，介紹了很多面向未來芯片的技術。當中包括但不限于“下一代 CMOS”、“將器件構建到多層布線工藝中的技術”、“傳感器內計算技術”、“寬間隙器件”和“圖像傳感器”。

將構成 CMOS 的兩個 FET 堆疊起來，將硅面積減少一半

第一個是“下一代 CMOS 邏輯”領域中的“互補 FET (CFET)”。

CMOS 邏輯由至少兩個晶體管組成：一個 n 溝道 MOS FET 和一個 p 溝道 MOS FET。晶體管數量最少的邏輯電路是反相器（邏輯反相電路），由1個n溝道MOS和1個p溝道MOS組成。換句話說，它需要相當于兩個晶體管的硅面積。

CFET 是這兩種類型 MOSFET 的三維堆疊。理論上，可以利用一個 FET 占據的硅面積來制作逆變器。與傳統CMOS相比，硅面積減半。但制造工藝相當復雜，挑戰重重，打造難度較大。

在IEDM 2023上，CFET研發取得了重大進展。臺積電和英特爾均推出了單片堆疊下層 FET 和上層 FET 的 CMOS 電路。TSMC 演示了一個 CFET 原型，該原型將 n 溝道 FET 單片堆疊在 p 溝道 FET 之上。所有 FET 均具有納米片結構。柵極間距為48nm。制造成品率達90%以上。目前的開/關比超過6位數。

Intel 設計了一個 CFET 原型，將三個 n 溝道 FET 單片堆疊在三個 p 溝道 FET 之上 。所有 FET 均具有納米帶結構（與納米片結構基本相同的結構）。我們制作了柵極間距為 60nm 的 CMOS 反相器原型并確認了其運行。


采用二維材料制成GAA結構的納米片溝道

下一代 CMOS 邏輯晶體管的另一個有希望的候選者是溝道是過渡金屬二硫屬化物 (TMD) 化合物的二維材料（單層和極薄材料）的晶體管。

當 MOSFET 的溝道尺寸縮短時，“短溝道效應”成為一個主要問題，其中閾值電壓降低且變化增加。減輕短溝道效應的一種方法是使溝道變薄。TMD很容易形成單分子層，原則上可以創建最薄的溝道。

TMD 溝道最初被認為是一種用于小型化傳統平面 MOSFET 的技術（消除了對鰭結構的需要）。最近，選擇TMD作為環柵（GAA）結構的溝道材料的研究變得活躍。候選溝道材料包括二硫化鉬（MoS2）、二硫化鎢（WS2）和二硒化鎢（WSe2）。

包括臺積電等在內的聯合研究小組開發了一種具有納米片結構的n溝道FET，其中溝道材料被MoS2單層取代。柵極長度為40nm。閾值電壓高，約為1V（常關操作），導通電流約為370μA/μm（Vds約為1V），電流開關比為10的8次方。

imec 和 Intel 的聯合研究團隊使用 300mm 晶圓上的 2D 溝道候選材料制造了原型 n 溝道 MOS 和 p 溝道 MOS，并評估了它們的特性。候選材料有 MoS2、WS2 和 WSe2。MoS2單層膜適用于n溝道FET，WSe多層膜適用于p溝道FET。

包括臺積電等在內的聯合研究小組開發出一種二維材料晶體管，其電流-電壓特性與n溝道FET和p溝道FET相同。MoS2（一種 n 溝道材料）和 WSe2（一種 p 溝道材料）在藍寶石晶圓上生長，并逐個芯片轉移到硅晶圓上。此外，英特爾還原型制作了具有GAA結構的二維材料溝道FET，并在n溝道和p溝道上實現了相對較高的遷移率。


石墨烯、釕和鎢將取代銅 (Cu) 互連

多層布線是支持CMOS邏輯擴展的重要基礎技術。人們擔心，當前流行的銅（Cu）多層互連的電阻率將由于小型化而迅速增加。因此，尋找金屬來替代 Cu 的研究非常活躍。候選材料包括石墨烯、釕 (Ru) 和鎢 (W)。

臺積電將宣布嘗試使用石墨烯（一種片狀碳同素異形體）進行多層布線。當我們制作不同寬度的互連原型并將其電阻與銅互連進行比較時，我們發現寬度為15 nm或更小的石墨烯互連的電阻率低于銅互連的電阻率。石墨烯的接觸電阻率也比銅低四個數量級。將金屬離子嵌入石墨烯中可以改善互連的電性能，使其成為下一代互連的有前途的材料。

imec 制作了高深寬比 (AR) 為 6 至 8、節距為 18 nm 至 26 nm 的 Ru 兩層精細互連原型，并評估了其特性 。制造工藝為半鑲嵌和全自對準過孔。在AR6中原型制作寬度為10 nm（對應間距18 nm至20 nm）的Ru線測得的電阻值低于AR2中模擬的Cu線的電阻值。

應用材料公司開發了一種充分利用鎢 (W) 的低電阻互連架構。適用于2nm以上的技術節點。我們充分利用 W 襯墊、W 間隙填充和 W CMP（化學機械拋光）等基本技術。


將存儲器等元件納入多層布線過程

一種有些不尋常的方法是研究多層互連過程（BEOL）中的存儲器等構建元件。多層布線下面通常是 CMOS 邏輯電路。因此，理論上，BEOL 中內置的元件不會增加硅面積。它是提高存儲密度和元件密度的一種手段。

斯坦福大學和其他大學的聯合研究小組將提出在多層邏輯布線工藝中嵌入氧化物半導體 (OS) 增益單元晶體管型存儲元件的設計指南。操作系統選擇了氧化銦錫 (ITO) FET。我們比較了 OS/Si 混合單元和 OS/OS 增益單元。

imec 開發了 MRAM 技術，可將自旋軌道扭矩 (SOT) 層和磁隧道結 (MTJ) 柱減小到大致相同的尺寸。它聲稱可以將功耗降低到傳統技術的三分之一，將重寫周期壽命延長10的15次方，并減少存儲單元面積。

加州大學洛杉磯分校率先集成了壓控 MRAM 和 CMOS 外圍電路。MRAM的切換時間極短，為0.7ns（電壓1.8V）。原型芯片的讀取訪問時間為 8.5ns，寫入周期壽命為 10 的 11 次方。


將計算功能納入傳感器中

“傳感器內計算技術”，它將某種計算功能集成到傳感器中。包括旺宏國際在內的聯合研究小組將展示基于 3D 單片集成技術的智能圖像傳感器。使用 20nm 節點 FinFET 技術，將類似于 IGZO DRAM 的存儲層單片層壓在 CMOS 電路層的頂部，并在其頂部層壓由二維材料 MoS2 制成的光電晶體管陣列層。光電晶體管陣列的布局為5×5。

西安電子科技大學和西湖大學的聯合研究小組設計了一種光電神經元，由一個光電晶體管和一個閾值開關組成，用于尖峰神經網絡。對連續時間內的傳感信號（光電轉換信號）進行壓縮編碼。


在硅晶圓上集成 GaN 功率晶體管和 CMOS 驅動器

對于能帶隙比 Si 更寬的化合物半導體器件（寬禁帶器件），在 Si 晶圓上制造氮化鎵 (GaN) 基 HEMT 的運動十分活躍。

英特爾在 300mm 硅晶圓上集成了 GaN 功率晶體管和 CMOS 驅動器。CMOS驅動器是GaN增強型n溝道MOS HEMT和Si p溝道MOS FET的組合。用于GaN層的Si晶片使用(111)面。對于 Si MOS FET，將另一個面的硅晶片粘合在一起，只留下薄層，用作溝道。

CEA Leti 開發了用于 Ka 波段功率放大器的 AlN/GaN/Si MIS-HEMT。兼容200mm晶圓Si CMOS工藝。通過優化柵極絕緣膜SiN而原型制作的HTMT的ft為81GHz，fmax為173GHz。28GHz 時的 PAE（功率負載效率）極高，達到 41%（電壓 20V）。假設我們已經實現了與 GaN/SiC 器件相當的性能。

6400萬像素、像素尺寸為0.5μm見方的小型CMOS圖像傳感器。

在圖像傳感器中，顯著的成果包括像素數量的增加、像素尺寸的減小、噪聲的減少以及自動對焦功能的進步。

三星電子已試制出具有 6400 萬像素、小像素尺寸為 0.5 μm 見方的高分辨率 CMOS 圖像傳感器。使用銅電極混合鍵合堆疊三個硅晶片，并為每個像素連接一個光電二極管和后續電路。與傳統型號相比，RTS（隨機電報信號）噪聲降低了 85%，FD（浮動擴散）轉換增益提高了 67%。

OmniVision Technologies 開發了一款 HDR 全局快門 CMOS 圖像傳感器，其像素間距為 2.2μm 。它是通過將兩片硅片粘合在一起而制成的。FPN（固定模式噪聲）為1.2e-（rms值），時間噪聲為3.8e-（rms值）。

佳能推出了一款雙像素交叉 CMOS 圖像傳感器原型，帶有一對扭轉 90 度的光電二極管。使用各個方向的相位差檢測來執行自動對焦。AF 的最低照度低至 0.007lux。