三星研發“智能傳感器系統”，用于提高半導體良率和產能

12 月 26 日消息，根據韓媒 ETNews 報道，三星電子公司正在開發“智能傳感器系統”，用于控制和管理半導體工藝。

圖源：三星

注：提高半導體良率的關鍵點之一是，精確控制半導體生產過程中等離子體均勻性和密度，而“智能傳感器系統”用于測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望提高半導體良率和產能。

三星現有的晶圓智能傳感器大部分采購自美國等國外廠商，耗資數千萬韓元。而近期對提高產量的需求不斷飆升，倒逼三星轉向自研，降低對外國傳感器的依賴程度。

據了解，三星電子正在開發的智能傳感器是超小型的，不會對現有設備空間產生重大影響，這意味著可以在提高空間利用率的同時提高產能。

據報道，三星電子計劃逐步擴大智能傳感器的開發和應用范圍，其目的不僅限于等離子體，而是開發可用于各種半導體工藝的 SMART 傳感器和系統。