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半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)啟“材料時(shí)代”,先進(jìn)材料和清洗方案比光刻機(jī)更重要

2023-12-29 來(lái)源:TechSugar
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關(guān)鍵詞: 先進(jìn)材料 清洗方案

行業(yè)專(zhuān)家表示,半導(dǎo)體行業(yè)在過(guò)去20多年時(shí)間里,光刻領(lǐng)域的進(jìn)步,主要由特殊設(shè)備決定的;而在未來(lái)10年里,將過(guò)渡到“材料時(shí)代”。


美國(guó)耗材供應(yīng)商Entegris首席技術(shù)官James O'Neill表示,當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)掌控“更精細(xì)”工藝技術(shù)的角色,已經(jīng)從光刻設(shè)備遷移到用于硅晶圓加工的先進(jìn)材料和清洗解決方案上。


O'Neill表示材料領(lǐng)域的創(chuàng)新,是推動(dòng)半導(dǎo)體元件生產(chǎn)率提高的關(guān)鍵。


默克集團(tuán)電子業(yè)務(wù)總經(jīng)理凱?貝克曼同樣支持上述觀點(diǎn),表示未來(lái)10年會(huì)是“材料時(shí)代”。




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