光刻機(jī)是當(dāng)前所有芯片制造設(shè)備中，最為關(guān)鍵的一環(huán)，且是中國(guó)自有芯片產(chǎn)業(yè)鏈中，最為薄弱的一環(huán)，畢竟我們國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī)，僅實(shí)現(xiàn)了90nm工藝。
所以一直以來(lái)，我們都需要大量的從荷蘭、日本進(jìn)口光刻機(jī)，因?yàn)槿虺酥袊?guó)上海微電子之外，也只有荷蘭的ASML、日本的佳能、尼康能夠制造芯片產(chǎn)業(yè)的前道光刻機(jī)。
數(shù)據(jù)顯示，2023年這一年，從ASML進(jìn)口的光刻機(jī)，就超過(guò)了600億元，是2022年三倍多，數(shù)量超過(guò)200臺(tái)……
不過(guò)大家也都清楚，2024年一開(kāi)始，光刻機(jī)進(jìn)口就變的困難了，首先先進(jìn)一點(diǎn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，是無(wú)法進(jìn)口了，美國(guó)、日本、荷蘭的禁令全面執(zhí)行了，許可證也被取消了。
在這樣的情況之下，像ASML、尼康、佳能等，想賣(mài)光刻機(jī)給我們，就必須要符合禁令要求，工藝不能太先進(jìn)。
在這樣的情況之下，這些光刻機(jī)廠商們?cè)趺崔k？畢竟中國(guó)市場(chǎng)這么大，可不能放棄了，必須得想辦法，賣(mài)點(diǎn)貨才行啊。
近日，尼康執(zhí)行副總就表示稱(chēng)，他們已經(jīng)收到了中國(guó)客戶的強(qiáng)烈要求，想要從尼康購(gòu)買(mǎi)光刻機(jī)。為此，尼康也決定，在“遵守規(guī)則的同時(shí)擴(kuò)大業(yè)務(wù)”。
何為遵守規(guī)則，又?jǐn)U大業(yè)務(wù)？那就是推出新的光刻機(jī)，滿足禁令的同時(shí)，又將光刻機(jī)的性能、參數(shù)進(jìn)行提升，滿足中國(guó)客戶的需求。
按照佳能的說(shuō)法，要在今年夏季，推出一款新的I-line光刻機(jī)，并且這是佳能25年以來(lái)，推出的第一款I(lǐng)-line光刻機(jī)。
I-line光刻機(jī)，從理論上來(lái)說(shuō)，實(shí)際上是相當(dāng)成熟的光刻機(jī)了，30年前就有了，主要用于制造250nm以上邏輯制程，用于8寸晶圓，也是最早幾代的光刻機(jī)。
這樣的光刻機(jī)，中國(guó)自己其實(shí)也能夠制造出來(lái)的，我們自己都早實(shí)現(xiàn)了90nm，所以我們真的需要從日本買(mǎi)這僅用于制造250nm芯片的光刻機(jī)么？
很多人猜測(cè)，尼康制造的新I-line光刻機(jī)，肯定不是只制造250nm芯片，這樣的光刻機(jī)，我們要之無(wú)用，說(shuō)不定有其它一些新功能，那么具體會(huì)是什么情況，就讓我們拭目以待了，夏季見(jiàn)分曉。
