ASML新EUV光刻機28億?臺積電:我不買,不浪費錢,2nm一樣造
ASML是全球光刻機壟斷者,EUV光刻機占100%的市場,全球只有ASML能生產。浸潤式DUV光刻機,ASML占了90%以上的市場。
而整個光刻機領域,ASML一家占了80%以上的市場,靠著光刻機,ASML制霸全球,可以說所有的晶圓廠,都被ASML牽著走。
做生意當然不能是一錘子買賣啊,必須持續不斷的賺錢才行,所以為了賺錢, ASML的光刻機,也是一代又一代的更新,每一代相比上一代,在精度、速度等上面,都會有所改進,但改進卻又不是特別多。
這樣晶圓廠,為了獲得更高的精度,更快的速度,更高的效率,不得不一代又一代采購ASML的新光刻機,淘汰掉舊光刻機。
其實在EUV光刻機之前,這種更新換代,晶圓廠們還是能夠接受的,畢竟光刻機也不是特別貴,但到了EUV光刻機之后,就麻煩大了。
因為一臺EUV光刻機,就是1億多美元,10臺就是10多億美元,換成人民幣,就是上百億元,如果還經常要更新換代,這樣的成本,沒有幾家廠商吃的消啊。
所以一直以來,就有企業想要用舊一點光刻機,來實現更高精度芯片的制造。
比如臺積電,第一代7nm工藝時,用的是浸潤式DUV光刻機,不采用EUV光刻機。
后來更是用舊EUV光刻機,生產更先進一點的3nm芯片技術,而不是直接就從ASML那采購更高級的EUV光刻機。
而近日,臺積電更是表示,其A16(也可以認為是1.6nm)工藝,將在2026年量產,而所謂的A16工藝,實際上是2nm工藝的升級版,臺積電2025年實現2nm,2026年實現A16。
同時臺積電還著重提出,A16制程工藝并不需要下一代High-NA EUV光刻系統的參與。
為何會著重提出這一點,原因在于目前業界有一種聲音,那就是進入2nm工藝,必須用到ASML最新的光刻機,也就是High-NA EUV光刻機。
這種High-NA EUV光刻機對應之前的EUV光刻機,最大的區別的就是數值孔徑的變化,之前的EUV光刻機數值孔徑是0.33,而High-NA EUV提供了0.55數值孔徑。
ASML稱,之前的標準EUV光刻機可以打印13.5nm的線寬,而High-NA EUV光刻機可打印8nm線寬,所以生產2nm芯片時,效果更好。
另外ASML還稱,新EUV光刻機處理晶圓的速度提升了100%至150%,從原來的每小時200片晶圓,提升到每小時400至500片晶圓。
不過,這樣的光刻機好是好,價格可不便宜,設備的價格約在3.85億美元(約28億元人民幣)起步。
臺積電目前擁有標準的0.33數值孔徑的光刻機上百臺,如果全部換成這種新的,成本高達400億美元,臺積電當然不想換,成本完全背不起啊。
所以,臺積電的計劃是,不管你ASML怎么升級,反正我不變,我用舊的EUV光刻機,也要生產出2nm,甚至升級版A16(1.6nm)的芯片出來。
這對于ASML而言,就有點麻煩了,一旦新EUV光刻機,得不到臺積電這樣的巨頭支持,那賣給誰呢?因為一旦臺積電這么干,三星、intel只怕也會學,那ASML一直以來,靠著不斷升級來維持的營收增長,怎么實現了?
