半導體設備國產化進行時：上海精測兩設備出貨中芯國際

2021-07-15 來源：財聯社

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7月13日，上海精測半導體技術有限公司（下稱“上海精測”）通過微信公眾號宣布，國內首臺12寸獨立式光學線寬測量設備（OCD）與國內唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復查設備（ReviewSEM）順利出機。

上海精測母公司精測電子（300567.SZ）同日披露的調研紀要顯示，上述兩臺半導體設備的客戶為中芯國際。“設備是已經可以投入使用了”，精測電子內部人士今日對記者表示。

據了解，OCD設備除具有全自動光學膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側壁角度（SWA）、高度/深度等關鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準確和非破壞性等特點，是半導體前道檢測的關鍵設備之一。

精測電子副總經理、上海精測總經理馬駿在出機儀式上介紹，OCD量測設備的市場一直為美資公司壟斷，上海精測本次出貨機臺名稱為300FDProfile，是該類型機臺的國內首臺，主要應用于55nm及以下的快速線寬測量。

而ReviewSEM則是上海精測的另一重要設備產品，該設備的交付也使得公司成為目前全球成功開發該設備的唯一非美系廠商。

據媒體報道，上海精測此次交付的兩臺前道量測檢測設備，該設備從零部件到整機設計制造，均具有完全自主知識產權。中芯國際（北京）良率提升工程部總監翟冬梅對此表示，“填補了國內半導體產業鏈在該領域的空白”。

上海精測成立于2018年，主要聚焦半導體前道檢測設備領域，公司現已形成了膜厚/OCD量測設備、電子束量測設備、泛半導體設備三大產品系列。

在客戶導入方面，上述調研紀要透露，目前，上海精測膜厚產品（含獨立式膜厚設備）已取得國內一線客戶的批量重復訂單、OCD量測設備已取得訂單并已實現交付，半導體電子束檢測設備eViewTM全自動晶圓缺陷復查設備已正式交付國內客戶。其余儲備的產品目前正處于研發、認證以及拓展的過程中。

“公司之前也披露過有哪些客戶，比如有長江存儲、廣州粵芯等，部分產品已經出貨了”，精測電子內部人士講到。

由于半導體設備研發投入大，同時產品驗證周期長，上海精測2020年實現營收5674萬元，但虧損9688萬元。

不過上海精測并不缺乏資金的支持。

天眼查顯示，精測電子持有上海精測40%股權，另外精測電子的孫公司上海精圓管理咨詢合伙企業（有限合伙）持有上海精測13.3%的股權。國家大基金持有13.33%的股權，上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業持有6.67%的股權，后者的股權結構中，國家大基金和國產半導體離子注入機廠商萬業企業各持股近20%。