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ASML的壞消息,日本廠商新技術,不要EUV光刻機,可生產5nm芯片

2021-10-25 來源:互聯網亂侃秀
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關鍵詞: 光刻機 臺積電 三星 半導體

眾所周知,在芯片生產過程中,光刻機是繞不過的設備,如果從整個生產來看,光刻機的成本占總設備成本的30%。

最關鍵的是,當進入到7nm工藝后,必須要用到EUV(極紫外線)光刻機,這種光刻機只有荷蘭ASML能夠生產,且產能有限,廠商們要買到,并不容易,要排除,且ASML要優先供應臺積電三星、intel這幾家股東。

所以一直以來,大家都在尋找其它辦法,比如不用EUV光刻機,能不能生產7nm及以下的芯片?事實上,也有廠商是這么想并打算這么干的,因為通過DUV光刻機進行多重曝光,理論上也能達到7nm。

但這種辦法非常復雜,對技術要求非常高,同時良率低,晶圓的損耗比較大,所以如果能夠買到EUV光刻機,就不可能用這種辦法,這種辦法生產出來的芯片,完全沒有市場競爭力。

而近日,日本廠商搞出了另外一種辦法,那就是不采用DUV多重曝光,而是開發了一種新的NIL制程技術,這種技術不需要EUV光刻機,就可以將芯片制程推至5nm。

這家廠商就是日本的存儲大廠鎧俠Kioxia(東芝),它與日本的光學/半導體廠商佳能,還有光罩/半導體廠商大日本印刷株式會社(DNP),經過了4年的研發,終于研發出了納米壓印微影(NIL) 的量產技術。

目前鎧俠已將其應用到了15nm的NAND閃存制造上了,并表示到2025年應該可以應用到5nm的芯片制造上。

鎧俠表示,NIL 技術與EUV光刻技術相比,可以大幅度的減少耗能,轉化效率高,耗電量可壓低至EUV 技術的10%,同時NIL技術下的設備也便宜,與ASML的EUV光刻機相比,投資可降低至僅有EUV 設備的40%。

不過也有專業人士指出,NIL技術也許能夠推進芯片制程至5nm,但可能更適應于NAND這種3D堆疊的閃存芯片,不一定適用于所有的芯片。

不過合作廠商之一的佳能,則表示要努力的將NIL 量產技術廣泛的應用于制作DRAM 及PC 用的CPU 等邏輯芯片的設備上。

對于這個技術,不知道大家怎么看?如果真的能夠推進至5nm,且用于除NAND之外的通用芯片,那么ASML就必將走下神壇。

甚至從一定程度而言,也是國產芯的好消息,你覺得?對于這樣的彎道超車的技術,真希望它能夠多一點,并且是中國廠商研發的就好了。



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