解決“卡脖子”問題，國產光刻機項目用了他們的光源

從正面看去，一個比例被放大數十倍的立體玉龍躍然眼前，可當你伸手去觸摸時，卻只碰到了空氣（見下圖），2月20日，在位于新鄉市紅旗區新東產業集聚區的百合光電有限公司（以下簡稱百合光電），記者感受到了裸眼3D懸浮成像技術這一“黑科技”。

實現了微米級別光刻光源系統的國產化量產

除了上述裸眼3D懸浮成像技術，在百合光電，太陽光模擬系統，讓人即使身處暗室也能盡情享受“日光浴”；深紫外輻照模擬設備，可以模擬太空光照環境，被用于建造衛星的材料篩選環節……

“這些只是我們研發路上的‘副產品’，今年國內的一家新能源汽車品牌參加車展時，也會用到這項技術。”百合光電總經理、英國南威爾士大學光電工程學博士張博說，在研發光刻光源的過程中，該企業掌握了高精度的光學元件加工技術，實現了微米級別光刻光源系統的國產化量產，產品品質達到了國際領先水平，“捎帶”著生產出一系列“黑科技”產品。

“無論是懸浮感、對比度、分辨率，還是生態環保、使用壽命、綜合成本，我們的產品都經得起市場的競爭和考驗。”張博說。

研發生產過程中，深深感受到了被“卡脖子”的痛苦

2016年，張博帶著一支6人科研團隊，來到紅旗區新東產業集聚區，注冊成立公司，開始了光刻光源的研發。“研發生產過程中，深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦，比如很多生產設備的部件，反光碗來自日本，還有的來自美國，那時我們無法完全實現‘中國造’。”

光刻、曝光設備是國家的戰略裝備，技術門檻高，投資大，周期長，而光學就是其中的核心難點之一。我國該領域起步晚，經驗少，市場化的產品更是差距巨大。目前，雖然我國90納米的設備已經驗收，正在攻關28納米的光刻機，但在市場上，就算是微米和亞微米級別，國外品牌依然是主流。

“為助力半導體裝備產業實現國產化，不再被光刻光源‘卡脖子’，我們每年拿出企業年產值的20%~25%作為科研經費，與各大高校建立戰略合作，從市場需求出發，定位技術攻關方向，聯合培養人才，實現項目產業化。”張博說。

近幾年，百合光電開發了系列UV-LED光源系列產品，繞過了國外在超高壓汞燈、恒流源等領域建立的產業壁壘，在節能、環保、降低成本、提高品質等方面全面超越傳統汞燈，符合國家碳達峰、碳中和的遠景目標，實現了產品指標國際領先。在集成電路、液晶、線路板、LED等行業，百合光電已經成功開發并產業化了30余款系列產品，實現整機國產化。

正式成為中芯國際光學元器件的戰略供應商

“酒香不怕巷子深”。中科院牽頭的國產光刻機重大項目，采用的是百合光電提供的光源模組；作為國產光刻機民企“龍頭”的大族激光，選用了百合光電生產的整套曝光系統；去年6月起，百合光電向半導體龍頭企業中芯國際保質保量供應了光學零部件，前幾天正式成為中芯國際光學元器件的戰略供應商……

張博介紹，近5年，百合光電以年均增收20%的速度健康發展，未來兩三年，預計年產值、利潤增幅均將超過100%。“我們將繼續探索和開創更多光的可能性，大力投入健康、環境、綠色、娛樂等產業，研發出更多更好的新產品。”